樹脂充填方法が絶縁スぺーサの誘電率傾斜に与える影響: 有限体積法に基づく流体解析を用いた樹脂分布の推定

摘要

今回，誘電率の高い樹脂（Hε-樹脂）と低い樹脂（Lε-樹脂）の比率を変えた混合樹脂を順次充填する流動解析と， Hε-樹脂とLε-樹脂を5:5の比率で混合した単一樹脂の硬化解析により，樹脂の挙動を可視化することで，充填方法の違いが絶縁スぺーサの誘電率傾斜に与える影響を調査した。得られた知見を，以下にまとめる。