HPPMSを用いたSpindt型エミッタ作製におけるキャビティ構造の影響

摘要

真空電子源のひとつであるSpindt型エミッタ陰極は、上部にホールの開いた微細キャビティを基板上に形成し、ホールを通して材料となる金属をキャビティ内部に堆積させて作製する。本研究ではこれまで、レジストを用いたキャビティに大電力パルススパッタ装置を用いて Mo を堆積させ、エミッタ陰極形成の最適条件を決定した。しかし、圧縮応力によってキャビティの変形や膜の剥離が起き、エミッタの形状が悪化した。応力緩和のため、放電ガスをArからKrに変更して成膜を試みたが、先鋭な形状のエミッタ作製には至らなかった。そこで、膜が剥離しない条件を維持しつつ、キャビティの材質や構造を変更することで、エミッタ形状の向上を試みた。