微結晶化によるビスマス層状構造強誘電体の誘電特性の改善

摘要

強誘電体材料は高誘電率を示すことから、チタン酸バリウム(BaTiO3, BTO)系強誘電体を中心にキャ パシタ材料として利用されてきた。しかし近年、次世代パワーエレクトロニクスを担うモジュールの小型化 に対応するため、高温高耐圧下でも利用できるキャパシタが求められている。ビスマス層状構造強誘電体は、 その全般に亘って、キュリー温度が高いことが特徴であり、高温まで高い比誘電率を維持できる。