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一种提高无铅铁电薄膜性能的方法及其制备的无铅铁电薄膜

摘要

本发明公开了一种提高无铅铁电薄膜性能的方法及其制备的无铅铁电薄膜。具体涉及无铅铁电薄膜领域的一种利用电离辐照效应来减低无铅铁电薄膜漏电流的方法及其得到的无铅铁电薄膜。其是在室温下,使用带电粒子或者伽马射线等载能粒子束对无铅铁电薄膜进行辐照,其辐照总剂量为10Mrad-100Mrad,辐照后便得到漏电流降低的铁电薄膜。这对提高铁电存储器工作的稳定性和使用寿命,降低发热量有着重要的意义。

著录项

  • 公开/公告号CN101798239B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-09-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 湘潭大学;

    申请/专利号CN201010139802.2

  • 发明设计人 马颖;时群吉;周益春;

    申请日2010-04-06

  • 分类号

  • 代理机构长沙市融智专利事务所;

  • 代理人颜勇

  • 地址 411105 湖南省湘潭市西郊羊牯塘

  • 入库时间 2022-08-23 09:10:59

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-09-05

    授权

    授权

  • 2010-09-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 41/80 申请日:20100406

    实质审查的生效

  • 2010-08-11

    公开

    公开

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