マイクロプラズマ電極表面上の微粒子除去の研究

摘要

微粒子制御は，粒子の構造?組成制御や流動制御，微粒子合成をはじめ半導体製造や室内環境 でも注目されている．プラズマを用いたものでは，気相反応による微粒子生成や電気集塵などが 挙げられる．本研究では，マイクロプラズマアクチュエータ型電極を用いて， 電極表面上の微粒 子の除去を目的として実験的検討を行った．