公开/公告号CN1494956A
专利类型发明专利
公开/公告日2004-05-12
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN03158907.3
发明设计人 G·-J·赫伦斯;
申请日2003-09-10
分类号B08B11/00;G03F7/20;H01L21/027;
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人章社杲
地址 荷兰维尔德霍芬
入库时间 2023-12-17 15:18:03
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-09-02
专利权的视为放弃
专利权的视为放弃
2005-11-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-05-12
公开
公开
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