静電気力によるマイクロプラズマ電極表面上の微粒子除去の研究

摘要

近年，微小粒子状物質（PM2.5）が大気汚染や人体，特に呼吸器系に悪影響を及ぼすため，非常に問題視されている．微粒子の問題はこういった室内外の環境分野のみならず，半導体産業分野においては品質低下等をもたらしたり，太陽電池表面上での微粒子の堆積が発電効率を低下させたり等，さまざまな方面に見られる．これらの問題を解決するため，ウエハ表面のコンタミネーションの除去や電気集じん装置，太陽電池表面上に堆積した砂の除去，さらには宇宙空間での調査に悪影響を与える微粒子の除去など数多くの研究がなされている．一方で，微粒子やエアロゾルによる薄膜形成など微粒子を用いた研究も進められている．本研究ではマイクロプラズマ電極を用いて，電極表面上の微粒子の除去を目的に実験的検討を行った．微粒子除去や輸送では多層交流電圧による電界カーテンを用いたものなどが多く存在するが，本研究では単相の正弦波電圧により微粒子除去が可能となっている．使用したマイクロプラズマ電極は2つの電極と誘電体層からなり，プラズマアクチュエータと同様の構造をしている．