ポリシラザン塗布法および光照射を用いた高ガスバリア性薄膜低 温形成法の開発と耐熱性有機フィルムへの展開

摘要

近年のモバイル機器の急速な普及に伴い、薄い·軽い·曲げられるといった高機能 なフレキシブルデバイスが発展しており、柔軟性·軽量性に優れる有機フィルムが注 目されている。