AlGaN深紫外LEDの進展と今後の展望

摘要

深紫外発光ダイオード（DUV-LED)は、殺菌?浄水、医療をはじめとした幅広い応用分野において期待され、今後 の大きな市場展開が予測されている。本研究では、A1N (窒 化アルミニウム）系半導体の結晶成長技術を開拓することにより、深紫外における高効率発光を実現し、実用可能な 高効率?深紫外LEDを開発してきた。本稿では、我々が取 り組hでいる「水銀ランプの代替えを目標とした高効率? 深紫外LED」の開発と今後の市場開拓への展望ついて紹介 する。