AlGaN基UV-LED的研究与进展

摘要

近年来短波长紫外LED巨大的应用价值引起了人们的高度关注,成为了全球半导体领域研究和投资的新热点。本文综合分析了AlGaN材料的生长、碎裂、掺杂和欧姆接触等问题,对UV-LED的发展历程、技术路线和研究进展进行了详细介绍,并展望了未来发展方向。