AlGaN深紫外LEDの進展と今後の展望：素子的透明化による光取り出し効率の向上

摘要

AlGaN深紫外LEDは殺菌を中心した幅広い市場展開が期待されている。本稿では、AlN結晶の高品質化による発光効率の向上や電子注入効率の向上などにより実用レベルの深紫外LEDを開発してきた経緯と今後の高効率化への展望について紹介する。