(S2.1-S0085)AlGaN 系深紫外LED の最近の進展と今後の展望

摘要

深紫外LED·半導体レーザ（LD）は、殺菌·浄水、皮膚治療などの医療、農作物病害防止、生化学産業、樹脂硬化成型、印刷、塗装、コーティングなど、幅広い分野での応用が考えられ、今後の大きな市場展開が期待されている。AlGaN 系半導体は、幅広い紫外波長（200～360nm）における高効率発光が可能であるため、紫外発光素子の材料として重要である。本研究では、AlGaN 系混晶半導体の高品質結晶成長技術を開拓し、短波長·高効率深紫外LED の開発を推進してきた。