屈折率分散適応によるSS-OCT 膜厚計測の高精度化

摘要

SS-OCT (Swept Source Optical Coherence Tomography) は、 10μm 級の高分解能で、動物体の断層画像を高速撮像する技術であ り、我々はこのSS-OCT 技術を使った膜厚計測器用の波長掃引光 源を開発している。SS-OCT は数十nm レベルの広帯域な波長 掃引光を測定対象に照射後反射した光を利用するが、環境の変動 等に起因して掃引波長帯域や光源強度が変動すると、屈折率波長 分散の影響により、膜厚計測結果(PSF; Point spread function ピーク 位置) も変動するという課題が有る。これに対して、PSF 生成処理 に内包されるリスケーリングを測定対象の波長分散に適応させ ることにより、OCT 画像のSNR 改善や膜厚確度改善が可能 となる。今回、同手法による高精度化を確認したので報告する。