屈折率分散適応によるSS-OCT 膜厚計測の高精度化

摘要

SS-OCT (Swept Source Optical Coherence Tomography) は、10μm 級の高分解能で、動物体の断層画像を高速撮像する技術であり、我々はこのSS-OCT 技術を使った膜厚計測器用の波長掃引光源を開発している。SS-OCT は数十nm レベルの広帯域な波長掃引光を測定対象に照射後反射した光を利用するが、環境の変動等に起因して掃引波長帯域や光源強度が変動すると、屈折率波長分散の影響により、膜厚計測結果(PSF; Point spread function ピーク位置) も変動するという課題が有る。これに対して、PSF 生成処理に内包されるリスケーリングを測定対象の波長分散に適応させることにより、OCT 画像のSNR 改善や膜厚確度改善が可能となる。今回、同手法による高精度化を確認したので報告する。