Pb(Zr,Ti)O3 キューブの形成に及ぼす水熱合成時間の影響

摘要

Pb(Zr,Ti)O3（PZT）薄膜は、ゾルゲル法、金属有機熱分解法あるいはパルスレーザー堆積法など様々な製膜 手法を用いて作製することが可能であるが、PZT 薄膜の結晶化にはおよそ600°C 以上の焼成工程が必要であ る[1]。しかし、水熱法を用いることにより、高温処理を必要としないPZT 薄膜の作製が可能であることが報 告されている[2]。一般的に、水熱合成法では、溶液の溶解度を増加させるために、KOH あるいはNaOH な どの強塩基性水溶液が鉱化剤として用いられる。一方、水酸化テトラメチルアンモニウム（TMAH）は、水 酸化物等の不純物の生成を妨げることが可能なため、有望な鉱化剤として注目されている[3]。