ソフトテンプレート法を利用した BaTiO3-Y2O3 ナノコンポジット薄膜の作製と誘電特性の評価

摘要

チタン酸バリウム(BaTiO3, BT)はキュリー温度 TC ? 130 °Cの強誘電体で、TC以上の温度では強誘電 性を失う。BT に歪が生じると、TCは高温にシフトする[1] 。実際、BT にメソポーラス構造を導入する、ある いは BT をナノコンポジット化することで BT に歪を生じさせ、TCの大幅な上昇を実現した報告がある[2,3] 。 ナノコンポジット化によって BT に有効に歪を生じさせるためには、弾性率が高く熱膨張率の小さな材料を 選択する必要があり、本研究ではこれらの条件を満たす絶縁性材料として Y2O3を選択した。本発表では、ソ フトテンプレート法を利用した BT-Y2O3ナノコンポジット薄膜の作製と誘電特性について報告する。