MEMS CAD; System Level Simulation; Macro-model; Multi-physical; Coordinated Simulation Analysis;
机译:一种使用先进的MEMS工艺对具有嵌入式垂直馈通的SOI-MEMS器件进行晶圆级气密封装的方法
机译:MEMS器件传热宏模型的提取
机译:基于Mems压力传感器的触觉诊断设备数据可视化方法研究
机译:MEMS器件宏观模型提取方法研究
机译:通过原子和多尺度方法模拟MEMS器件中的稀有流。
机译:利用扩展的Euler-Bernoulli束理论自动提取ScAlN MEMS器件的参数
机译:CMOS-MEMS真空传感器的气流和参数提取新的宏观模型
机译:mEms电容式悬臂应变传感器,器件和形成方法。