(475-52)電子線照射を利用したプルシアンブルー粒子のパターニングにおける照射電荷量の検討

机译：（475-52）使用电子束照射在Patterning的Patterning辐照电荷量的检查

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エレクトロクロミック(EC)現象とは電気化学的な酸化還元反応により物質の光の吸光スペクトルが可逆的に変化する現象である. プルシアンブルー(PB)はEC 特性を持つ材料と知られており, K+存在下で電圧を印加することによりK+の脱挿入を行い, 酸化体では青色, 還元体では無色になる.そのような特性を利用してPB は表示素子としての応用が期待されている[1]. 表示素子として利用するためにはPB を数十～数百μm の目的の形状にパターニングする必要がある. そこで, 電子線を利用してPB 粒子をパターニングする方法を開発し, そのときの電子線の照射電荷量について検討した.

机译：电致变色（EC）现象是一种现象，其中通过电化学氧化还原反应可逆地改变了物质的光的吸收光谱。通过施加电压，称为具有EC特性的材料，K +被称为EC特性的材料。将K +插入氧化剂中，蓝色和还原剂是无色的。使用这种特性，Pb预期为显示元件[1]。为了用作显示元件，Pb需要将Pb图案化为形状几十到几百μm。所以，我们开发了一种使用电子束来图案化PB颗粒的方法，并且在此时检查了电子束的照射电荷量。

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来源
《日本金属学会秋期大会》|2018年|1 CD-ROM|共1页
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作者
香取友樹; 須坂祐輔; 下条雅幸;
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正文语种
中图分类 TG-532;
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