(119-0347)電子線ホログラフィーによる誘電体の電位分布および二次電子挙動の解析

摘要

透過電子顕微鏡（TEM）観察の際、電子線照射に伴って試料からは二次電子が放出され、非導電性試料の場合電子の放出に対して周囲からの電子の供給が相対的に少ないため正に帯電する。本グループではこれらの帯電効果と二次電子との対応関係に注目しており、電子線ホログラフィーを用いた研究の過程で帯電した生体試料周囲の電場および二次電子の蓄積·集団運動の観察に成功し[1]、試料形状や試料表面の電位分布は二次電子挙動と密接な関係があることを確認した。これらの結果はデバイスへの応用も期待できると考え、本研究では誘電体試料について同様に電子線ホログラフィーによる電場と二次電子の観察を行った。また、電場観察結果に対してはシミュレーションによる電位分布解析を行うことで試料表面の電位を決定したのち、二次電子挙動との対応関係を議論した。