バイオ試料の機械的特性評価のためのMEMSプラットフォーム

摘要

我々は、これまでにSOIプロセスによるシリコンナノピンセットを開発し、DNAを捕獲して宙空に取り出し、電気·機械的特性の評価研究を行って来た［1］。しかしバイオ試料は従来、緩衝液中に存在するために、液中で取り扱うことが望ましい。そこでシリコンナノピンセットとマイクロ流体デバイスを組み合わせたバイオ反応実験プラットフォームを開発した。本論文では、実験プラットフォームの構造を示し、応用例として、このプラットフォームを用いた酵素によるDNAの分解反応、ナノピンセットによる細胞の圧縮について報告する。