可動MEMSデバイスへの光学素子垂直自動アライメント技術

摘要

本稿では，可動MEMSデバイス上への光学素子自動アライメント実装技術を報告した。製作した素子を可動MEMS デバイス上に実装する実験を開始しており，その実装精度の評価を進める予定である。