指向性四重極質量分析計を用いた電子ビームのパルス照射によるアルミナセラミックスからの脱離ガス測定

摘要

真空中の沿面放電現象の要因の一つに，トリプルジャンクションから放出された電子の照射を受けた絶縁体から脱離する吸着·吸蔵ガスが挙げられている。このため，高エネルギーの電子ビームを照射した際に絶縁体から脱離するガスの種類·量を分析する必要がある。過去の研究では絶縁体に電子ビームを照射すると帯電を生じ，測定結果に影響を与えている可能性があった。そこで本研究では電子ビームの単パルス照射を用いて，絶縁体が帯電した時のガスが脱離する様子の変化を観測した。