ディスクリート型微小構造体を用いたマイクロ化学デバイスの新規製作法によるMEMSミキサ

摘要

本研究では，ディスクリートに微細加工した微小構造体をマイクロ流路内で配置することによるマイクロ化学デバイスの製作，および高機能化を提案する。今回，微小構造体にはシリコンMEMSミキサを用いた。MEMSミキサはSiウェハ両面ICP RIEにより製作した。この構造体を典型的なY字型のPDMS流路にハンドリングにより配置した。蛍光観察により，製作したマイクロ化学デバイスがミキサー流路一体形成と同じ混合能を示すことを確認した。また，通常のプリアセンブリ構造では不可能な形状を製作した。