Verkapselungstechniken fur implantierbare integrierte MEMSDrucksensoren

摘要

Medizinisch implantierbare MEMS-Sensoren (Micro-Electro-Mechanical-Systems) haben ein erhebliches Potenzial fur diagnostische und therapeutische Anwendungen, wie die kontinuierliche Druckuberwachung, Nerven- und Muskel- Stimulation oder Medikamenten-Dosierung bzw. -Abgabe. Ubliche medizinisch zugelassene mikroelektronische Implantate wie Herzschrittmacher, Cochlea Implantate oder Hirnstimulatoren werden standardmassig durch nicht-flexible dickwandige Materialien wie beispielsweise Titan oder Keramik verkapselt und sind daher starr und relativ gross. Dieser Verkapselungsansatz gewahrleistet eine erprobte Langzeitstabilitat. In einer Vielzahl von Anwendungen, welche nur unter Verwendung von MEMS-Elementen realisierbar erscheinen, besteht die Notwendigkeit zu einer weiteren Miniaturisierung der Implantate. Einen wichtigen Schritt hierzu steuern flexible Verkapselungstechniken bei, wodurch es zukunftig moglichen sein wird die Implantate besser an die Anatomie des Korpers anzupassen und neue Anwendungsfelder zu erschliessen.