Aluminiumnitrid Membranen mit vergrabenen IDT fur neuartige Membranbiegeschwinger

摘要

Der Schwerpunkt dieser Arbeit liegt in der Herstellung und Charakterisierung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid (AlN) Membranen fur neuartige Membranbiegeschwinger (engl. flexural plate-wave, FPW) mit vergrabenen Interdigitalwandlern (IDT) zur Sensorik in Flussigkeit. Die Herstellung der AlN-Membranen erfolgte mittels etablierten Mikrofertigungsverfahren wie reaktivem Magnetronsputtern, UV-Fotolithografie und reaktivem Ionentiefenatzen. Die elektroakustischen Eigenschaften der hergestellten Resonatoren und Verzogerungsleitungen wurden anhand von Laser-Doppler-Vibrometer-Messungen bewertet. Des Weiteren wurden umfangreiche Untersuchungen wie Rontgenbeugung (XRD) und konfokale Raman-Spektroskopie zur Evaluation der Materialeigenschaften durchgefuhrt.