Aufbau eines HF-MEMS-Schalters in einem Silicium-Keramik-Verbundsubstrat

摘要

In dieser Arbeit wird eine neue Integrationstechnik fur elektrostatisch aktuierte RF-MEMS-Schalter auf einem hybriden Silicium-Keramik-Substrat gezeigt. Das Silicium-Keramik-Substrat, (SiCer, Silicon-on-Ceramics) besteht aus einem Silicium Substrat und bis zu acht individuell bearbeitete LTCC-Keramiklagen (Niedertemperatur-Einbrand-Keramiken). Si und Keramiklagen werden mittels Sintern bei 900° zu einem monolithischen Verbundsubstrat zusammengefugt. Durch Siebdruckverfahren wird vor dem Sintern auf die oberste LTCC Nano-Carbonpaste aufgetragen. Beim anschliessenden Sinterschritt verbrennt der Kohlenstoff am Interface zwischen der LTCC und dem Silicium. Zuruck bleiben vergrabene Kavitaten. Diese ermoglichen eine Strukturierung und gleichzeitige Freistellung von MEMS-Strukturen im Silicium durch klassische Dunnschichttechnologie, hier Reaktives Ionentiefatzen (DRIE). Dieses Vorgehen erlaubt eine komplett neue Herangehensweise bei der Erzeugung beweglicher MEMS-Elemente.