Nano-modifiziertes flexibles Mikroelektroden-Array mit integriertem CMOS-Chip fur medizinische Anwendungen

摘要

Mikroelektroden und Mikroelektroden-Arrays (MEAs) sind unerlasslich in einer Vielzahl von medizinischen Anwendungen wie zum Beispiel dem Tiefenhirnstimulator, dem Cochlea- oder Retina-Implantat. Dort werden sie zur Ableitung von Aktionspotentialen oder zur Stimulation von Neuronen eingesetzt. Um ein gutes Signal-Rausch-Verhaltnis zu gewahrleiten, sollte der Kontakt zwischen Elektrode und Gewebe moglichst eng sein. Dies erreicht man durch ein flexibles Mikroelektroden-Array, das grossflachig eine hohe Elektrodenanzahl aufweist. In dieser Arbeit wurde ein flexibles Mikroelektroden-Array mit einem integrierten flexiblen Dummy-Chip aus Silizium entworfen und hergestellt. Durch Zusammenschalten mehrerer solcher Mikroelektroden-Arrays ist es moglich, die Elektrodenanzahl und somit die Auflosung drastisch zu erhohen. Eine Beschichtung der Elektroden mit mehrwandigen Kohlenstoffnanorohren (MWCNT) uber elektrophoretische Abscheidung (EPD) an Stelle einer gesputterten Iridiumoxid-Schicht wird zudem in dieser Arbeit diskutiert.