次世代型クリーン生産環境制御技術に関する研究（その2）可視化実験によるアイリツド廻りの局所気流性状把握

摘要

本研究は、天井吹き出し·天井レタン方式の乱流型クリーン／レムにおける、合理的な環境制御技術を開発することを目的としている。前報1）では、定常CFD計算を利用して局所エリアの清浄度予測手法を示し、ミニエンノ叫ロメントをセミオープン化するためには、装置上部のFFU風速·台数を上げるよりも、製品搬送用の～レトコンペヤが通過する周辺エリアとの境界上にFFUを追加すること（エアカーテンFFUシステム、以下ac-FFU）が有効であることを示した本報では、定常CFDでは十分に検証できなかった気流の変動成分の影響も考慮したac-FFUの有効性を検証することを目的とし、クリーンノトム実験室において風速測定及び気流可視化実験を行った結果について報告する。