三角測量式光スキッドセンサの高精度化－形状再生手法の問題とその改善

摘要

機上計測において，センサと工作物との相対的な振動は，測定誤差を引き起こす．これに対し本研究室では、光スキッド法を付加した非接触機上センサを提案·試作し．振動除去の有効性を確認している．機上計測において，数mmから数十mといった長い波長成分を含む表面形状の測定が求められる場合がある．しかし，センサがもつスキッドのプローブ径より，長い波長成分を含む形状を測定する場合，測定結果より得られる形状の振幅は，完全には平滑化されない，そのため光スキッド法の原理上，測定で得られる形状の振幅は，被測定物の実形状の振幅に比べ小さくなってしまう．そこで本研究では，光スキッドセンサにおいて被測定物形状の再生手法を提案し，正弦波形状を対象とした形状再生シミュレーションおよび実験を行い，その効果について検討した結果を報告する．