エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究（第7報）－サブミクロン面内構造創製の検討

摘要

RP(Rapid Prototyping)技術のひとつである光造形法は，簡易に三次元構造を創製できる点で大きく注目を浴びている．本研究では，高精度な三次元微小構造の創製を目的として，エバネッセント光を露光エネルギとすることにより新しい微小構造創製法の確立を目指している．本報ではエバネッセント光を利用したナノ光造形法において，サブミクロンオーダの面内構造創製の実験的検討を行った．