新しい窒化法－アクティブスクリーンプラズマ窒化

摘要

表面改質処理は目的によって様々な方法があり、めっき、溶射、ほうろう、浸炭、窒化などのある程度成熟した．技術に加え、最近はエレクトロニクス分野において発達してきたイオン注入やPVDおよびCVD技術を応用した．表面改質技術も利用されている。そのなかでも窒化処理法は、硬さや耐摩耗性を向上させる一方、鋼材では加熱がAl変態温度以下の比較的低温のため熱変形が少なく、工具や金型などトライボロジーが対象とする様々な材料の長寿命化に役立ち、広く適用されている。