EBSD法の鉄鋼材料への適用事例

摘要

SEM（走査型電子顕微鏡）は材料調査手段として欠かせない道具であり、高倍率観察や低加速電圧による最表面構造の観察などの基本機能に加え、近年の多彩な検出器の開発により観察機能が広がっている。また、EDS（エネルギー分散型元素分析）の付加により進化し、近年のEBSD（Electron BackScattering Diffraction Pattern：電子線後方散乱回折法）の登場によって、益々有用性が拡大している。