AlおよびNi薄膜の熱処理による塑性変形を用いた MEMSカンチレバーのたわみ調整法

摘要

マイクロカンチレバー等のMEMSデバイスでは，可動構造の初期たわみの調整を必要とする場合が多く，例えば筆者らの研究室で開発してきたデュアル構造の AFM カンチレバーでは，積層した薄膜の応力の差や(1)，カンチレバー構造の差によって(2)，大きな先端のたわみの差が生じる。