EUV photoresist; outgassing; electron; reactivity; yield; photon; absorption coefficient; metal oxalate;
机译:用于EUV的第一行过渡金属草酸盐抗蚀剂
机译:金属-La_(0.7)Ca_(0.3)MnO_3-金属异质结构中具有薄反应金属界面层的均匀电阻开关
机译:用草酸盐和二硫氧酰胺配体含有杂动机络合物的双官能化合物磁性分组中交换耦合的量子化学建模
机译:金属草酸盐EUV的反应性与中心金属有关
机译:六氮杂大环的同核过渡金属配合物:与二氧化碳,唯一桥联的草酸四铜(II)复合物和血色素和酪氨酸酶的单羟基桥联的二铜(II)模型的反应性。
机译:用反应性硅和锗化合物官能化内表面金属富勒烯
机译:化学扩增的EUV抗蚀剂的金属敏化剂:敏感性增强和溶解研究
机译:用于评价金属Bloch-Grueneisen参数和钽电阻率作为温度函数的评估的计算机程序