机译:单晶片清洁工艺在轻掺杂漏极(LDD)期间产生的静电荷导致的损坏
机译:单晶片清洁工艺在轻掺杂漏极(LDD)期间产生的静电荷导致的损坏
机译:用于高级DRAM的双注入轻掺杂漏极器件中的热载流子可靠性
机译:在FinFET中轻掺杂的漏极层的先进湿清洁技术
机译:用于降低纳米级FinFET的源极漏极电阻的先进技术。
机译:凸源/漏极(RSD)和垂直掺杂漏极(LDD)多Si薄膜晶体管
机译:凸源/漏极(RSD)和垂直掺杂漏极(LDD)多Si薄膜晶体管
机译:用于VLsI(超大规模集成)mOsFET的改进的轻掺杂漏极结构