Micromechanical resonator; Radial-contour; Viscosity; MEMS packaging;
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机译:温度相关的非线性对微机械谐振器性能的影响
机译:包装气氛对微机械径向轮廓磁盘谐振器共振性能的影响
机译:用于无线通信的自对准径向轮廓模式微机械磁盘谐振器。
机译:相位噪声对MEMS盘谐振器陀螺仪接口电路影响的研究
机译:1.156-GHz自对准振动微机械盘谐振器
机译:圆盘式介质谐振器中横向电模谐振的应力敏感性