measurements; efficiency; mission;
机译:超大规模异质集成(VLSHI)和晶圆级真空封装,用于红外辐射热计焦平面阵列
机译:基于隧道位移传感器的红外探测器的晶圆级制造
机译:基于纳米多孔氧化铝膜的MEMS晶圆级薄膜真空封装的设计,制造和测试
机译:用于红外探测器可扩展的高可靠性真空密封封装的设计和制造
机译:具有腔耦合吸收技术的非制冷热电堆红外探测器的设计与制造
机译:使用玻璃回流工艺制造真空密封的电容式微机械超声换能器阵列。
机译:低成本真空绝缘包装的设计,制造和测试