可扩展的真空室和用于制造可扩展的真空室的方法

摘要

本发明涉及一种可扩展的真空室(10)，其具有扁平的框架元件(14)和端板(12)，并且涉及一种用于制造这种真空室(10)的方法。在轴向方向(Ra)上，端板(12)在框架元件(14)之前和之后排列成行，并且与框架元件(14)一同限定真空室(10)的腔室容积。