FPD製造装置用新型真空チャンバーシールの開発

摘要

LCD（液晶）、PDP（プラズマディスプレイ）、有機ELなどのFPD（フラットパネルディスプレイ）は近年凄まじいスピードで大型化されている。 特に最も市場でのシェアの高いLCDは、最終製品である薄型テレビをはじめとして、パソコン用のディスプレイなどでコスト·シェアの市場競争が激化しており、各パネルメーカーはコストダウンを余儀なくされている。