Aggregative Linear Regression; Decision Trees; Forward Stepwise Regression; Virtual metrology;
机译:等离子蚀刻工艺的全球和本地虚拟计量模型
机译:等离子体蚀刻的实时虚拟计量和控制
机译:等离子蚀刻操作的虚拟计量建模
机译:使用聚合线性回归的等离子蚀刻工艺虚拟计量
机译:基于等离子体的铜蚀刻工艺的工艺和可靠性评估。
机译:基于遗传算法的CXCR2受体拮抗剂QSAR模型在PLS线性回归方法应用之前进行数据预处理并使用计算机模拟虚拟筛选设计新化合物
机译:使用\ ud进行等离子蚀刻过程虚拟计量 总体线性回归
机译:等离子体和离子蚀刻用于失效分析。第2部分。使用Technics Giga Etch 100-E等离子蚀刻系统对塑料封装和其他半导体器件材料进行蚀刻