ZnO:Zr; Transparent conducting oxide films; Reactive magnetron sputtering; Ar/O_2 ratio;
机译:Ar / O_2比对DC反应磁控溅射制备透明导电ZnO:Ga薄膜性能的影响
机译:射频功率和O_2 / Ar流量比对射频磁控溅射沉积透明电极AZO薄膜性能的影响
机译:射频磁控溅射沉积Al掺杂ZnO透明导体的电学和光学性质对O_2 / Ar气体流量比的影响
机译:AR / O_2比率对透明电导ZnO:Zr膜沉积的Zr膜的影响
机译:直流反应磁控溅射沉积的新型薄膜透明导电氧化物。
机译:射频直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的透明导电掺铝ZnO多晶薄膜的载流子输运和晶体学取向特征
机译:活性直流磁控共溅射沉积纳米结构TiZrN薄膜的表征