Vanadium oxide films; Magnetron sputtering; Post-anneal; Phase transition temperature;
机译:直流反应磁控溅射和氧化后退火法制备低相变温度钒氧化物薄膜
机译:反应磁控溅射制备纳米结构掺锆钒氧化物薄膜及其相变性能
机译:氧气流量对射频磁控溅射法生长钒氧化物薄膜金属-绝缘体转变的影响
机译:通过磁控溅射和减少退火方法制备低相变温度的氧化钒膜
机译:交流磁控溅射在低温下沉积的生物相容性氧化铝膜的性能。
机译:射频磁控溅射制备低温等离子体驱动纳米二氧化钛薄膜净化汽车尾气
机译:通过在室温下通过RF磁控溅射沉积的层的热退火获得的氧化钒薄膜
机译:反应溅射沉积法制备锌,铝和钒(及相关系统,金和锗氧化物,铝和钨氮化物)氧化物的低温薄膜生长