Micromachined accelerometer; Electrostatic Suspension; Squeeze film damping; System-level model;
机译:微机械悬挂式加速度计的系统级仿真和悬浮控制实验
机译:带有静电悬挂质量的敏感微机械加速度计的性能
机译:三轴微机械静电悬浮加速度计的自锁避免和刚度补偿
机译:微机械悬挂式加速度计的防置质量和系统级模拟设计
机译:微机械电容式加速度计的设计与制造。
机译:微机械静电悬浮六轴加速度计的设计制作和悬浮实验
机译:微机械静电悬浮六轴加速度计的设计,制作和悬浮实验
机译:使用单个质量块的3轴力平衡加速度计