Form- und Geometriemessung - Aspekte fur die Qualitatskontrolle von Mikro- und Nanostrukturen - (PPT)

摘要

Einen wesentlichen Teil der Qualitatskontrolle nimmt die Form- und Geometriemessung ein. Dabei spielen optische Messverfahren eine wichtige Rolle. Tendenziell verlagert sich die Qualitatskontrolle in Richtung Fertigung und Produktionsablaufe. Durch Integration in den Herstellprozess werden Ausschuss und Nacharbeit weiter minimiert. Als Querschnittstechnologie hat die Mikro- und Nanotechnik grossen Einfluss auf Entwicklung und Anwendung der optischen Messverfahren. Rauheit, Aussehen und Haptik einer Oberflachenstruktur sind wichtige Kriterien, die quantitativ zu bewerten sind. Einige Verfahren, die industrielle Anwendung finden, werden in diesem Beitrag vorgestellt.