MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発－センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計

摘要

本研究では，3点法を利用した走査形状測定に用いる高分解能マルチカンチレバーデバイスをMEMS技術で製作する．MEMS技術を利用することで、3つの高分解能変位センサを一体化して高精度に配置することができ，間隔誤差を非常に小さくできる．本報告では，まずセンサ間隔の誤差が形状測定に及ぼす影響をシミュレーションによって明らかにする．次に高分解能マルチカンチレバーデバイスの基本設計を示す．