グリーンデバイス用結晶基板の加工プロセス技術の研究開発 （第6報）－高効率加工プロセス用高速圧加工装置

摘要

マルチ産学連携コンソーシアム（Doi Project）が九州大学産学連携センターに2012 年に設立され, サファイア, SiC, GaN, さらには近未来型の究極的ダイヤモンド基板などの難加工性材料基板を対象とし高効率·最適加工プロセスの確立を目指している．その一環として, 高能率·高品位加工を実現する従来の加工条件をはるかに上回る高剛性の高速圧加工装置の研究開発と, さらに加工プロセス上, 律速になっている仕上げ工程を改善する一方, その工程を負担軽減するという基本的考え方から中間工程にもフォーカスした研究開発を展開している．本報では, 難加工結晶材料の仕上げ加工を勘案した中間プロセスにおける生産性向上を実現するため, プレストン係数を通常の数十倍以上の大きさにすべく高速圧加工を追究する．ここでは, 高速圧領域での検証実験を行い高剛性高速圧加工装置の設計試作を行い, 本装置による難加工性材料基板の基本的加工特性を把握したので以下, 報告する．