首页> 外文会议>精密工学会大会学術講演会 >光触媒ナノ粒子を用いた3次元金属微細構造創製に関する研究(第4報)-インプロセス観察に基づく創製特性の実験的検討
【24h】

光触媒ナノ粒子を用いた3次元金属微細構造創製に関する研究(第4報)-インプロセス観察に基づく創製特性の実験的検討

机译:光催化剂纳米粒子采用三维金属微观结构的研究。一。基于过程中的创作特性的实验研究。

获取原文
获取外文期刊封面目录资料

摘要

MEMS,μ-TAS,フォトニック結晶等のための微細加工の分野において,金属を含む複雑な3次元構造体を効率良く創製する技術の確立を目指すのが本研究のテーマである.3次元金属構造体は,形状を制御することで,力学的機能,電磁気学的機能等の様々な機能発現ができるため,その創製法の確立が期待されている.我々は光触媒と低パワーのCWレーザを用いて,金属の複雑3次元構造を高スループットで創製できる手法の研究を行っている.本報では創製過程を実験的に検討したので報告する.
机译:在MEMS,μ-TAS,光子晶体等的微生物领域中,这是该研究的主题,以建立有效地产生包括金属的复杂三维结构的技术。 通过控制三维金属结构的形状,可以执行机械函数的各种功能和电磁功能,因此预期创建方法的建立。 我们使用光催化剂和低功耗CW激光来研究可以创造具有高吞吐量的复杂三维结构的方法。 在本报告中,我们通过实验报告创建过程。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号