微細周期構造を有した光学素子の設計, 製造, 計測評価方法

摘要

リソグラフィを使用した微細加工プロセスの進歩に伴い，微細周期構造を有する光学素子に関する研究が色々，見受けられる．今回は KrF エキシマレーザー（発振波長: 248nm）を光源とした半導体露光装置を使ってリソグラフィを実施して光学素子を製造する場合の，設計，製造，そして三種類の計測評価の方法に関して報告する．