回折限界を超えた表面微細周期構造の光学式非破壊深さ計測手法

摘要

近年,微細化が進hでいるMEMS,マイクロチャネルや,新規光学的•力学的機能を発現する微細な凹凸からなる表面機能構造など多様な用途において,数百nmスケールの微細周期構造の高精度な創製が求められている。これらの微細周期構造を実現する高精度微細加工プロセスを高効率で管理するためには,加工された微細周期構造の非破壊計測技術が不可欠となる。一般に光計測法は,非接触性,非破壊性,高速性などの加工面形状評価法としての優れた計測特性を有しているため,従来より有効な微細形状評価手法として適用されてきた。