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表面形貌的全息式非接触光学测量方法

     

摘要

讨论了关于表面形貌的一种全息式非接触光学测量新方法.此方法采用全息光学元件HOE替代普通光学元件,作为离焦检测元件,提高了测量精度和范围.

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